Španija – Mikroelektronski stroji in aparati ter mikrosistemi – Suministro de sistema de grabado mediante haz iónico (Ion beam Etching - IBE)

Ekipa bo namenjena za Infrastrukturo znanstvene in tehnične posebne (ICTS) MICRONANOFABS, špansko omrežje čistih sob za mikro in nanofabricacijo, vključeno v Nacionalni zbor ICTS Ministrstva, odgovornega za znanost, kjer je del Infrastrukture za mikro in nano fabricacijo Centra za nanofotoniko (NTC) Univerze Politècnica de València (UPV), skupaj z Nacionalnim centrom za mikroelektroniko (CSIC) in Centralom za tehnologijo ISOM (UPM). Namestitev bo v Čisti sobi stavbe 8F NTC-UPV. Center za nanofotoniko razvija postopke za izdelavo integriranih fotonskih naprav, biosenzorov, komponent za integrirano optiko, kvantnih naprav, mikroelektromehanskih sistemov (MEMS), mikrofluidnih struktur in nanofotonskih sistemov na širokem spektru materialov, vključno s silicijem, silicijevim nitridom, steklom, kvarcom, materiali III-V, dielektričnimi materiali in hibridnimi strukturami. Kot ICTS, vključena v omrežje MICRONANOFABS, NTC-UPV ponuja storitve mikro in nanofabricacije skupinam raziskovalcev nacionalnih in mednarodnih, ter podjetjem v okviru konkurenčnih projektov, pogodb za tehnološki prehod in ponudbo naprednih storitev. Ta status posebne infrastrukture skupnega uporabe zahteva, da se vzdržuje oprema, ki je aktualna, robustna in ima zmogljivosti v skladu z najnovejšimi dosežki, kar omogoča odgovor na lastne raziskovalne linije in zunanje zahteve znanstvene in industrijske skupnosti, v skladu z cilji PERTE Chip za okrepitev nacionalnih zmogljivosti za mikroelektroniko in fotoniko. Mnogi naprave, ki se izdelujejo v infrastrukturi, zahtevajo fizične postopke graverja z veliko preciznostjo na materialih, za katere konvencionalni postopki kemičnega graverja (mokri) ne zagotavljajo potrebne površinske kakovosti, anizotropije ali selektivnosti. Poleg tega, povečana kompleksnost razvijanih naprav zahteva, da so postopki zelo reproduktivni, z natančnim nadzorom nad kotom vpadanja žarka, visoko stabilnost postopka, avtomatizacijo in neprekinjeno nadziranje.