Nemčija – Laboratorijska, optična in precizna oprema (razen očal) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität Bochum namerava nakupiti DRIE etalno napravo, ki bo uporabljena v raziskovalnem laboratoriju za mikroelektroniko Bochum za substrate iz Wafer do 200 mm premera. Ta naprava bo uporabljena na področju silicijevih mikroelektromehanskih sistemov (MEMS) za globoko anizotropno silicijevo etiranje na osnovi cikličnega etirnega procesa (DRIE, "BOSCH-process") in bo poleg tega služila raziskovanju novih etirnih konceptov, ki uporabljajo manj klimatsko škodljivih etirnih plinov.