Nemčija – Laboratorijska, optična in precizna oprema (razen očal) – OV_LK_08-26-0886 Cz-Züchtungsanlage-Fluoride-2027

Dostava "prosto na uporabno mesto", namestitev in vpeljavo sistema za vzrejo Cr-Zrasti za vzrejo fluoridnih enokristalov. Poleg tega: priprava dokumentacije, sprejem (delovna in končna sprejem), servis v primeru motenj. Sistem omogoča rast fluoridnih enokristalov iz taline s postopkom izvlaka (npr. Czochralski postopek). Sistem se uporablja v raziskovalnem okolju in mora zagotoviti pogost dostop uporabnikov, enostavno vzdrževanje ter visoko procesno stabilnost. Sistem mora omogočiti izdelavo kristalov z največjim premerom 100 mm (4 palca) in težo do 5 kg. Največji notranji premer tiglja je ocenjen na približno 200 mm. Proces vzreje kristalov poteka v vodno hlajeni jekleni komori, notranja stena katere mora biti elektropolirana, da se doseže visok vakuum. Kot procesni plini se uporabljata argon in CF4. Sistem mora imeti funkcijo bake-out, to je komora mora biti pod ogrevanjem na >50 °C evakuirana v visok vakuum (<1×10-6 mbar). Proces poteka pri tlaku malo nad atmosferskim tlakom (običajno 1,05-1,1 bar) v statični ali tekoči atmosferi. Izhodna materiala se nahaja v ogljikovem tiglju (grafit ali steklasti ogljik), ki se ogreva v središču jeklene komore. Ogrevanje poteka z uporabo grafitskega upornostnega ogrevalnika, ki ogreva tiglj in talino. Kristalizacijski proces se začne z impfnim kristalom, ki je pritrjen na rotirajočem in translacijsko premikajočem vrtu iz platine in je potopljen v talino. Impfni kristal se nato pod vrtenjem počasi izvleče iz taline, pri čemer nastane volumenov enokristal.