Francija – Mikroelektronski stroji in aparati – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

Za svoje raziskovalne aktivnosti, ki se osredotočajo na razvoj tehnologij FDSOI 10nm in dalje, CEA-Leti želi nakupiti opremo za izpolnjevanje kovinskih via na nizki temperaturi za spominske aplikacije v svoji čisti sobi. Oprema bo lahko uporabljala 300mm waferje in je namenjena za depozicijo tankega filma volframa z visoko konformnostjo v via z visokim oblikovnim faktorjem. Predvideno je, da bo trg vključil eno obveznost z obveznim ceno in štiri obveznosti z izbirnim ceno: - Obveznost z obveznim ceno: . Obveznost 3 (izbirna storitev): Izobraževanje za vzdrževanje na ravni 1 - Obveznosti z izbirnim ceno: . Obveznost 1 (izbirna dostava): Izmenjevalniki toplote / hladilniki . Obveznost 2 (izbirna dostava): Transformator za električno oskrbo . Obveznost 4 (izbirna storitev): Izobraževanje za napredno vzdrževanje . Obveznost 5 (izbirna storitev): Podaljšanje garantije za eno leto