Francija – Elektronske, elektromehanske in elektrotehniške potrebščine – Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm

Za svoje raziskovalne aktivnosti, namenjene razvoju tehnologij FD-SOI 10 nm in nadomestnih, želi CEA-LETI pridobiti orodje za merjenje tankih plasti, kompatibilno z 200 mm in 300 mm ploščami, uporabno v čisti sobi razreda 100. Oprema mora vključevati funkcije spektroskopične elipsometrije in spektroskopične reflektometrije. Morala bo zagotoviti natančne in ponovljive mere debeline in optičnih lastnosti enostavnih ali steklenih plasti. Ciljane tehnologije vključujejo med drugim SOI, visoko-k dielektrične materiale, GaN, SiC in III-V. Predvidena je nabava, ki bo vključevala: - trdno delo, ki se nanaša na osnovno opremo, - opcijo n°1, ki se nanaša na dobavo OCD in računalniški okolje (OCD modul). Trenutni trg vključuje naslednje opcije z možnostjo cenovanja: o OPT1: Učenje o vzdrževanju 1. ravni o OPT2: Učenje o napredni vzdrževanju o OPT3: Dobava električnega transformatorja o OPT4: Dobava izmenjivača toplote/hlajenja o OPT5: Podaljšanje garantije za eno leto o OPT6: Cena transporta, vključno z zavarovanjem, po pogojih DAP CEA Grenoble (Konvencija Incoterms ICC 2020).