Francija – Mikroelektronski stroji in aparati – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

Za svoje raziskovalne aktivnosti želi CEA-LETI pridobiti opremo, polavtoomatsko kemijsko delovno mesto za graviranje in čiščenje materialov III-V na ploščah silicija, fosforja indija (InP) ali galijev arzenid (GaAs) z diametri 100, 150, 200 in 300 mm za mikroelektroniko. To delovno mesto zamenja že obstoječe delovno mesto v beli sobi LETI. Zato mora oprema, ki jo predlagajo, ugoditi naslednjim meram: o Dolžina = 2500 mm o Globina = 1700 mm o Višina = 2100 mm Pogodba vključuje tudi naslednje opcije z obvezno ponudbo: o Opcija 1: Temperaturni izmenjevalniki in hlajalniki (3.2.6); o Opcija 2: Prevajalniki napajanja (4.1.4); o Opcija 3: Učenje o vzdrževanju 1. ravni (9); o Opcija 4: Učenje o naprednem vzdrževanju (9); o Opcija 5: Podaljšanje jamstva za eno leto (11.1); o Opcija 6: Dostop do suhega stika, ki kaže odpiranje ventila odtoka H2SO4 ali H2SO5 (4.2.3); o Cena transporta, vključno z zavarovanjem, po pogojih DAP CEA Grenoble (Konvencija Incoterms ICC 2020).