Nemčija – Razni stroji za posebne namene – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Predmet nakupa je nadgradnja obstoječega 200 mm volframovega kemijskega odlaganja iz parne faze (CVD) sistema proizvajalca Applied Materials Inc. (AMAT) na konfiguracijo WxZ Sprint. Za to je potrebno predvsem prilagoditi sistem razporeditve plinov za izvajanje pulznega postopka odlaganja volframa, ter integracijo dodatne opreme za omogočanje odlaganjskih tlakov do 300 Torr. Usluge vključujejo načrtovanje, dostavo, integracijo, vpeljavo in kvalifikacijo potrebnih prilagoditev hardverja in softverja obstoječega sistem.