Sverige – Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) – Electron Beam Lithography (EBL) Tool

Lunds universitet, institutionen för fysik, Lund Nano Lab förvärvar ett elektronstrålelitografiskt verktyg. Instrumentet är avsett för höghållbar, upprepbar mönsterbildning, utrustat med ett stort skrivfält för hög genomsättningsmönsterbildning och automatiserade självkalibreringsrutiner för att understödja långa exponeringar med minimala fel på grund av stråldrift. Slutligen måste dess flexibla provladdningssystem konfigureras för ett brett utbud av prover från små bitar som används för grundläggande vetenskap, eller wafers upp till 8" i diameter för pilotproduktionsprovning. Med dessa egenskaper kommer elektronstrålelitografiska verktyget att bli en central del av Lund Nano Labs tillverkningsinfrastruktur och stödja ett brett utbud av tillämpningar såsom kvantenheter, hög effekt elektronik, metasurface och mer. Förutom instrumentet måste anbudet omfatta alla associerade kostnader såsom garantier, förpackning, försäkring, installation på plats, inköp, FAT, SAT, tull och transport, utbildning, dokumentation, stöd, utveckling/softwareupdateringar, avgifter enligt förordningen om produktansvar för förpackning (2022:1274) osv.