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Tyskland – Mikroelektroniska maskiner, apparater och mikrosystem – Reactive ion etcher
Max-Planck-Institut für Struktur und Dynamik der MaterieTysklandPublicerad den 24 mars 2026
Ingen deadline angiven
TysklandBeskrivning
Tillverkning, distribution och service av plasmaätzanläggningar (RIE/ICP-RIE) för mikro- och nanofabrikation. Mer information finns i specifikationen.
CPV-koder
Microelectronic machinery and apparatus and microsystemsElectromechanical equipmentLaboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)
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