Frankrike – Mikroelektroniska maskiner och apparater – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

För sina forskningsaktiviteter som riktar sig mot utvecklingen av FD-SOI 10 nm-teknologier och därav, vill CEA-LETI inköpa en 300mm-utrustning för mekanisk-kemisk polering. Utrustningen måste kunna polera metallfilmer såsom koppar eller volfram samt barrermaterial såsom tantal eller titan. Utrustningen måste också kunna polera genomskinliga plattor. Den måste vara utrustad med 4 plattor och 2 renare för att kunna behandla 2 processer parallellt. Den måste vara utrustad med poleringshuvuden och slutpunktsystem av senaste generationen som tillåter automatisk justering av poleringsprofilen. Verktyget måste sedan integrera en in-situ-metrologimodul. Detta kontrakt innehåller följande obligatoriska option: - Option nr 1: Förlängning av garantin med ett extra år. Detta kontrakt innehåller följande valfria optioner: - Option nr 2: Leverans av en restsensor (§3.1 i specifikationerna), - Option nr 3: Leverans av en värmeväxlare/kylare (§3.2.6 i specifikationerna), - Option nr 4: Leverans av en elektrisk transformator (§4.1.3 i specifikationerna), - Option nr 5: Första nivå underhållsutbildning (§9 i specifikationerna), - Option nr 6: Avancerad underhållsutbildning (§9 i specifikationerna), - Option nr 7: Transportkostnad, försäkring inbegreppen, enligt villkor DAP CEA Grenoble (Incoterms ICC 2020).