Frankrike – Elektroniska, elektromekaniska och elektrotekniska varor – Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD

För sina forskningsaktiviteter med syfte att utveckla FD-SOI 10 nm-teknologier och framåt vill CEA-LETI inköpa en 300 mm utrustning för metallisk avlagring via PVD. Utrustningen ska vara multikammare och inkludera minst 5 avlagringskammare, en vakuumöverföringsplattform, en dedikerad oxidationskammare, en förrensningskammare och en degasningsmodul. Laddningsporten ska kunna ta emot minst 3 FOUP. Den avsedda marknaden omfattar följande optioner:

- Obligatorisk option: OPT1: Förlängning av garantin med 1 år till (§11.1 i specifikationerna)

- Valfria optioner: OPT2: Värmväxlare/Kylare (§3.2.6 i specifikationerna)

OPT3: Elförsörjningstransformator (§4.1.4 i specifikationerna)

OPT4: Förstahandsunderhållsutbildning (§9 i specifikationerna)

OPT5: Avancerad underhållsutbildning (§9 i specifikationerna)