Frankrike – Mikroelektroniska maskiner och apparater – Fourniture d’un système d’inspection optique compatible en 100, 150 et 200mm

För sina forskningsaktiviteter och utveckling av sina partnerskap vill CEA LETI inköpa ett optiskt inspektionssystem som är avsett för ostrukturerade wafers, och som kan inspektera diameter på 100 mm, 150 mm och 200 mm med avancerad känslighet. Det valda systemet måste kunna inspektera substrat av olika material och tjocklekar. Marknaden omfattar en option med obligatorisk prissättning:

- Option nr 1: Ett extra år med garantier, vilket gör den totala garantin till två år

Marknaden omfattar också optioner med fakultativ prissättning:

- Option nr 2: Leverans av en elektrisk transformator (artikel 4.1.4 i specifikationerna)

- Option nr 3: Utbildning i första nivå underhåll för inspektionssystemet

- Option nr 4: Utbildning i avancerat underhåll för inspektionssystemet