Frankrike – Mikroelektroniska maskiner och apparater – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

I ramen för sina forskningsaktiviteter för att utveckla SOI-teknologier med total utsläckning på 10 nm och framåt vill CEA-LETI inköpa en fullautomatisk utrustning för atomlagersättning (ALD). Denna utrustning ska huvudsakligen behandla 300 mm-wafer (eller 200 mm med hjälp av 200-300 mm-stöd). Den är avsedd för avsättning av metaller samt metallnitrider för icke-fluktiga minnen och avancerade kontakter. Utrustningen ska också inkludera en rensningslösning för att förbättra ytans kvalitet innan avsättning av metaller och metallnitrider. Marknaden omfattar också följande obligatoriska prissättning* : - Alternativ 1 – Underhållsutbildning Nivå 1 (Kapitel 9) Marknaden omfattar också följande valfria prissättning* : - Alternativ 2 – Värmetvättare (Heat exchangers) och kylsystem (chillers) (Avsnitt 3.2.6) - Alternativ 3 – Elektrisk transformator (Power supply transformer) (Avsnitt 4.1.4) - Alternativ 4 – Avancerad underhållsutbildning (Kapitel 9) - Alternativ 5 – Förbehållande, korrigerande underhållstjänster och nödvändiga reservdelar (Avsnitt 12.2) - Alternativ 6 – Garantiutökning med ett extra år - Transportkostnaden, inklusive försäkring, enligt villkoren DAP CEA Grenoble (Incoterms ICC 2020)