Finland – Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) – Edge-Handling Sputtering Cluster Tool

Objektet för anbudsprocessen är en kantbehandlingssputteringsklusterverktyg (senare även "Utrustning"). Utrustningen är ett sputteringklusterverktyg för 200-mm-wafer med kantbehandlingsförmåga för VTT Micronova renrums halvledarfrontända. Förvärvet omfattar en avsättningskammare med fyra magnetronsputterkällor. Under transport och bearbetning berörs waferna mekaniskt endast vid kanten, och de kan vändas i vakuum mellan processerna. Objektet för anbudsprocessen och de tekniska kraven beskrivs mer i detalj i inbjudningsdokumenten.