Belgien – Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) – 2 PVD systemen en materiaal

Lot 1 Beskrivning

Upphandlaren avser att inköpa ett högkvalitativt tunnfilmsavsättningssystem för forskning inom avancerade material inom ramen för ERC-finansierade projektet THERMAGINE. Systemet kommer att användas för avsättning och ingenjörskonst av magnetiska metalliska och oxidtunnfilmer och flerlagersstaplar med nanometerskala tjocklekskontroll. Utrustningen kommer främst att användas för tillverkning av magnetiska (flerlagers) tunnfilmer och kilar för nanomagnetisk forskning. Systemet måste därför erbjuda en hög grad av flexibilitet, reproducerbarhet, processstabilitet och automatisering. För tekniska detaljer, se avsnitt III

Lot 2 Beskrivning

För att underlätta utforskande forskning i UGent renrum krävs ett nytt fysikaliskt ångavsättningssystem (PVD) som kan hantera substrat av minst 100 mm storlek. PVD-systemet kommer att delas mellan fotonikforskargruppen (PRG) och vätskekristaller och fotonik (LCP) forskargrupper för avsättning av ett brett utbud av (i huvudsak) metalliska eller dielektriska tunnfilmer. I uppdraget ingår start och installation av verktyget, samt en laddningslås för snabbare laddning av prov och utbildning av leverantören av utrustningen. Ett 100 mm PVD-tunnfilmsavsättningssystem, med både e-gun-fördampning och putterkällor och en laddningslås.

Lot 3 Beskrivning

Förbrukningsmaterial första år för lot 2.

Lot 3 gäller en engångsinköp av förbrukningsmaterial som specifikt krävs för PVD-systemet beskrivet under lot 2 och för användning i UGent renrum under det första året av drift. Inventariet måste inkludera minst guld för puttermål, titan för puttermål, guld för e-gun-fördampning och titan för e-gun-fördampning. Andra förbrukningsmaterial som används i mindre kvantiteter, såsom aluminium, nickel, platina, aluminiumoxid, krom och liknande material, kan erbjudas som valfria extraartiklar men är inte obligatoriska.