Tyskland – Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität Bochum har för avsikt att inköpa en DRIE-ätanläggning som ska användas i forskningslaboratoriet för mikroelektronik i Bochum för wafer-substrat med en diameter upp till 200 mm. Den ska användas inom området för siliciumbaserade mikroelektromekaniska system (MEMS) för djup anisotropiskt siliciumätning baserat på en cyklisk ätprocess (DRIE, "BOSCH-processen") och dessutom tjänstgöra till forskning om nya ätkoncept som använder mindre klimatskadliga ätgaser.