Frankrike – Mikroelektroniska maskiner och apparater – Fourniture d’un équipement de dépôt dédié au remplissage métallique de vias à basse température

För sina forskningsaktiviteter, som syftar till att utveckla FDSOI 10nm-teknologier och vidare, vill CEA-Leti inköpa utrustning dedikerad för metallfyllning av vias vid låga temperaturer för minnesapplikationer för sin renrum. Utrustningen ska kunna använda wafers på 300 mm och är avsedd för avsättning av tunn tungstänfilm med hög konformitet i vias med hög formfaktor. Den planerade kontraktet omfattar en option med obligatorisk prissättning och fyra optioner med valfri prissättning:

- Obligatorisk option med prissättning: Option 3 (valfri tjänst): Underhållsträning nivå 1

- Valfria optioner med prissättning: Option 1 (valfri leverans): Värmeväxlare / kylare

Option 2 (valfri leverans): Elförsörjningstransformator

Option 4 (valfri tjänst): Avancerad underhållsträning

Option 5 (valfri tjänst): Garantiutökning med ett år