Frankrike – Elektroniska, elektromekaniska och elektrotekniska varor – Fourniture d’un outil de mesure de couches minces compatible avec wafers de 200 mm et 300 mm

För sina forskningsaktiviteter rörande utvecklingen av FD-SOI 10 nm-teknologier och framåt vill CEA-LETI inköpa ett mätinstrument för tunnfilmer som är kompatibelt med wafers på 200 mm och 300 mm, och som kan användas i renrumsklass 100. Utrustningen måste integrera funktioner för ellipsometri och spektroskopisk reflektometri. Den måste garantera exakta och reproducibla mätningar av tjocklekar och optiska egenskaper för enskilda eller stackade skikt. De teknologier som riktas in på inkluderar bland annat SOI, high-k-material, GaN, SiC och III-V. Den planerade marknaden omfattar: - en fast del som motsvarar basutrustningen, - en optionell del nr 1 som gäller leveransen av OCD och IT-miljö (OCD-Modul). Den här marknaden omfattar de följande valfria optioner med obligatorisk prissättning: o OPT1: Utbildning i första nivås underhåll o OPT2: Utbildning i avancerad underhåll o OPT3: Leverans av en elektrisk transformator o OPT4: Leverans av en värmeväxlare/kylare o OPT5: Förlängning av garantin med ett år o OPT6: Transportkostnad, inklusive försäkring, enligt villkoren DAP CEA Grenoble (Incoterms ICC 2020).