Frankrike – Mikroelektroniska maskiner och apparater – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

För sina forskningsaktiviteter vill CEA-LETI inköpa en utrustning, en halvautomatisk kemiarbetsbänk för ätning och rengöring av material III-V på silikonskivor, fosforindium (InP) eller galliumarsenid (GaAs) med diameter 100, 150, 200 och 300 mm för mikroelektronik. Denna arbetsbänk ersätter en redan existerande arbetsbänk i LETIs renrum. Därför måste den föreslagna utrustningen uppfylla följande dimensioner: o Längd = 2500 mm o Djup = 1700 mm o Höjd = 2100 mm

Kontraktet omfattar även följande valfria prissättningsalternativ: o Alternativ 1: Temperaturväxlare och kylare (§3.2.6); o Alternativ 2: Försörjningstransformatorer (§4.1.4); o Alternativ 3: Första nivå underhållsutbildning (§9); o Alternativ 4: Avancerad underhållsutbildning (§9); o Alternativ 5: Förlängning av garanti med ett extra år (§11.1); o Alternativ 6: Tillgänglighet av en torrkontakt som indikerar öppningen av H2SO4 eller H2SO5 avloppens ventil (4.2.3); o Transportkostnad, försäkring inkluderad, enligt villkor DAP CEA Grenoble (Incoterms ICC 2020).