Schweiz – Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) – Un système de pulvérisation cathodique dédié à la déposition de couches minces supraconductrices de haute qualité

EPFL planerar i nära samarbete med Université de Genève (UNIGE) att inköpa en högmodern sputteravsättningsanläggning, som är speciellt utformad för tillverkning av högkvalitativa supraledande tunnfilmer. Anläggningen kommer att installeras och drivas vid EPFL Center of MicroNanotechnology (EPFL CMi). CMi är en centraliserad enhet för mikro- och nanofabrikation som tjänar alla fakulteter vid EPFL och är öppen för externa universitet och lokala industripartners (över 600 aktiva användare per år). Den nya anläggningen kommer att användas för forskning på toppen av området för enkel foton detektorer, med målet att förminska skillnaden mellan laboratorietillverkning och industriell produktion genom att möjliggöra avsättning på vafrar med en diameter av 200 mm. Särskild uppmärksamhet riktas inte bara mot kvaliteten på avsättningarna och supraledande egenskaper hos tunnfilmerna, utan också mot användarvänligheten i anläggningarna, deras enkla och snabba inlärning för nya användare samt deras flexibla, men ändå robusta förmåga att styra processer i ett F&E-miljö. Lika mycket vikt läggs på leverantörens närhet och reaktionsförmåga vad gäller hela den tekniska supporten och processstödet. I enlighet med EPFL:s krav samt de vetenskapliga målen för CMi och UNIGE läggs särskild vikt vid följande punkter:

● Kvalitet, reproducerbarhet och jämnhet av supraledande tunnfilmer.

● Integration med våra infrastrukturer.