Schweden – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Electron Beam Lithography (EBL) Tool

Lund University, Department of Physics, Lund Nano Lab beschafft ein Elektronenstrahl-Lithographiegerät. Das Instrument ist für hochauflösendes, wiederholbares Strukturieren vorgesehen, ausgestattet mit einem großen Schreibfeld für hochdurchsatzfähiges Strukturieren und automatisierten Selbstkalibrierungsroutinen, um lange Belichtungen mit minimalen Fehlern aufgrund von Strahldrift zu unterstützen. Schließlich muss sein flexibles Probenladesystem für eine breite Palette von Proben konfiguriert werden, von kleinen Stücken, die für die Grundlagenforschung verwendet werden, bis hin zu Wafern mit bis zu 8" Durchmesser für Pilotproduktionstests. Mit diesen Eigenschaften wird das Elektronenstrahl-Lithographiegerät ein zentraler Bestandteil der Fertigungsinfrastruktur des Lund Nano Lab und eine Reihe von Anwendungen wie Quantenbauelemente, Hochleistungselektronik, Metasurfaces und mehr unterstützen. Zusätzlich zum Instrument muss das Angebot alle damit verbundenen Kosten wie Garantie, Verpackung, Versicherung, Vor-Ort-Installation, Inbetriebnahme, FAT, SAT, Zoll und Transport, Schulung, Dokumentation, Support, Entwicklung/Software-Updates, Gebühren nach der Verordnung über die Herstellerverantwortung für Verpackungen (2022:1274) etc. umfassen.