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Deutschland – Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme – Reactive ion etcher

Max-Planck-Institut für Struktur und Dynamik der MaterieDeutschlandVeröffentlicht am 24. März 2026
Keine Frist angegeben

Beschreibung

Herstellung, Vertrieb und Service von Plasmaätzanlagen (RIE/ICP-RIE) für die Mikro- und Nanofabrikation. Genaueres entnehmen Sie bitte aus dem Lastenheft.

CPV-Codes

Mikroelektronische Maschinen und Geräte und MikrosystemeElektromechanische AusrüstungLaborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

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