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Deutschland – Rasterelektronenmikroskope – Elektronenstrahllithografie

Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-NürnbergDeutschlandVeröffentlicht am 21. Okt. 2026
Noch 32 Tage

Beschreibung

Gegenstand der Beschaffung ist ein Elektronenstrahllithografie-System (EBL) mit integrierten Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM).

CPV-Codes

RasterelektronenmikroskopeMikroelektronische Maschinen und Geräte

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