Frankreich – Elektronischer, elektromechanischer und elektrotechnischer Bedarf – Fourniture d’un équipement de métrologie optique 100/150/200mm

Im Rahmen seiner Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten sowie der Partnerschaften möchte das CEA LETI ein optisches Inspektionssystem für unstrukturierte Wafer erwerben, das in der Lage ist, Wafer mit 100 mm, 150 mm und 200 mm (sogenannter "Brückenwerkzeug") zu inspizieren, um die bisherigen, bis dato verwendeten Systeme zu ersetzen. Das ausgewählte Werkzeug muss in der Lage sein, dünne und dicke Substrate zu inspizieren. Dieses System wird zur Qualifizierung der Prozesse im Reinraum in verschiedenen Phasen des Prozesses verwendet (solange die Substrate nicht strukturiert sind); es muss exotische Substrate verarbeiten und in der Lage sein, Fehler zu inspizieren und auf Anfrage des Benutzers Bilder von Fehlern zu sammeln (Bildaufnahme unter dem Mikroskop). Der geplante Auftrag umfasst: - Eine Grundausstattung; - Die folgende obligatorische Option zur Preisangabe: o OPT1: Verlängerung der Garantie um ein weiteres Jahr - sowie die folgenden fakultativen Optionen zur Preisangabe: o OPT2: Wärmetauscher / Kühler o OPT3: Transformator o OPT4: Schulung Wartung 1. Ebene o OPT5: Schulung Fortgeschrittene Wartung o Der Preis für den Transport, einschließlich Versicherung, gemäß den Bedingungen DAP CEA Grenoble (Incoterms ICC 2020)