Frankreich – Mikroelektronische Maschinen und Geräte – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Für seine Forschungsaktivitäten zur Entwicklung der FD-SOI 10 nm-Technologie und darüber hinaus möchte das CEA-LETI eine 300 mm Chemisch-Mechanische Poliermaschine erwerben. Die Anlage muss in der Lage sein, metallische Schichten wie Kupfer oder Wolfram sowie Barrierematerialien wie Tantal oder Titan zu polieren. Die Anlage muss auch in der Lage sein, transparente Platten zu polieren. Sie muss mit 4 Platten und 2 Reinigungsgeräten ausgestattet sein, um 2 Prozesse parallel zu bearbeiten. Sie muss mit den neuesten Polierköpfen und Endpunkt-Systemen ausgestattet sein, die eine automatische Anpassung des Polierprofils ermöglichen. Das Gerät muss anschließend ein In-situ-Metrologiemodul integrieren. Der vorliegende Auftrag umfasst die folgende obligatorische Option: - Option Nr. 1: Verlängerung der Garantie um ein weiteres Jahr. Der vorliegende Auftrag umfasst die folgenden fakultativen Optionen: - Option Nr. 2: Lieferung eines Restsensor (§3.1 des Leistungsverzeichnisses), - Option Nr. 3: Lieferung eines Wärmetauschers/Kühlers (§3.2.6 des Leistungsverzeichnisses), - Option Nr. 4: Lieferung eines elektrischen Transformators (§4.1.3 des Leistungsverzeichnisses), - Option Nr. 5: Wartungsschulung 1. Ebene (§9 des Leistungsverzeichnisses), - Option Nr. 6: Fortgeschrittene Wartungsschulung (§9 des Leistungsverzeichnisses), - Option Nr. 7: Der Preis für den Transport, einschließlich Versicherung, gemäß den Bedingungen DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).