Frankreich – Elektronischer, elektromechanischer und elektrotechnischer Bedarf – Équipement de 300 mm pour du dépôt métallique par de PVD

Für seine Forschungsaktivitäten zur Entwicklung der FD-SOI 10 nm-Technologien und darüber hinaus möchte das CEA-LETI eine 300 mm Anlage für die metallische Abscheidung durch PVD erwerben. Die Anlage wird mehrkammerig sein und mindestens 5 Abscheidungskammern, eine Vakuum-Transferplattform, eine dedizierte Oxidationskammer, eine Vorreinigungskammer und ein Degasierungsmodul umfassen. Die Ladeöffnung muss mindestens 3 FOUPs aufnehmen können. Der geplante Auftrag umfasst die folgenden Optionen:

- Obligatorische Option: OPT1: Verlängerung der Garantie um 1 Jahr (§11.1 des Leistungsverzeichnisses)

- Fakultative Optionen:

OPT2: Wärmetauscher / Kühler (§3.2.6 des Leistungsverzeichnisses)

OPT3: Stromversorgungstransformator (§4.1.4 des Leistungsverzeichnisses)

OPT4: Wartungsschulung 1. Ebene (§9 des Leistungsverzeichnisses)

OPT5: Fortgeschrittene Wartungsschulung (§9 des Leistungsverzeichnisses)