Frankreich – Mikroelektronische Maschinen und Geräte – Fourniture d’un système d’inspection optique compatible en 100, 150 et 200mm

Für seine Forschungsaktivitäten und die Entwicklung seiner Partnerschaften möchte das CEA LETI ein optisches Inspektionssystem für nicht strukturierte Wafer erwerben, das in der Lage ist, Durchmesser von 100 mm, 150 mm und 200 mm mit einer fortschrittlichen Empfindlichkeit zu inspizieren. Das ausgewählte System muss in der Lage sein, Substrate aus verschiedenen Materialien und Dicken zu inspizieren. Der Auftrag enthält eine Option mit verbindlicher Preisangabe:

- Option Nr. 1: Ein Jahr zusätzliche Garantie, wodurch die Gesamtgarantie zwei Jahre beträgt

Der Auftrag enthält Optionen mit fakultativer Preisangabe:

- Option Nr. 2: Lieferung eines elektrischen Transformators (Artikel 4.1.4 des Leistungsverzeichnisses)

- Option Nr. 3: Schulung zur Wartung des Inspektionssystems auf erster Ebene

- Option Nr. 4: Schulung zur fortgeschrittenen Wartung des Inspektionssystems