Frankreich – Mikroelektronische Maschinen und Geräte – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

Im Rahmen seiner Forschungsaktivitäten zur Entwicklung von SOI-Technologien mit vollständiger Erschöpfung von 10 nm und darüber hinaus möchte das CEA-LETI eine vollautomatische Anlage zur atomaren Schichtabscheidung (ALD) erwerben. Diese Anlage soll hauptsächlich 300-mm-Wafer (oder 200-mm-Wafer mit 200-300-mm-Halterungen) behandeln. Sie ist für die Abscheidung von Metallen sowie metallischen Nitriden für nichtflüchtige Speicher und fortschrittliche Kontakte bestimmt. Diese Anlage muss auch eine Reinigungslösung umfassen, um die Oberflächenqualität vor der Abscheidung von Metallen und metallischen Nitriden zu verbessern. Der Auftrag umfasst auch die folgende Pflichtoption zur Berechnung*: - Option 1 – Wartungsschulung Niveau 1 (Kapitel 9) Der Auftrag umfasst auch die folgenden fakultativen Optionen zur Berechnung*: - Option 2 – Wärmetauscher (Heat exchangers) und Kühlsysteme (chillers) (Abschnitt 3.2.6) - Option 3 – Elektrischer Transformator (Power supply transformer) (Abschnitt 4.1.4) - Option 4 – Fortgeschrittene Wartungsschulung (Kapitel 9) - Option 5 – Wartungsdienste präventiv, korrektiv und notwendige Ersatzteile (Abschnitt 12.2) - Option 6 – Garantieverlängerung um ein weiteres Jahr - Der Preis für Transport und Versicherung gemäß den Bedingungen DAP CEA Grenoble (Incoterms ICC 2020)