Belgien – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – 2 PVD systemen en materiaal

Lot 1 Erklärung

Die Auftragsbehörde beabsichtigt, ein hochwertiges Dünnschichtabscheidungssystem für die Forschung an fortschrittlichen Materialien im Rahmen des ERC-finanzierten Projekts THERMAGINE zu erwerben. Das System wird für die Abscheidung und das Engineering von magnetischen metallischen und oxidischen Dünnschichten und Mehrfachschichtstapeln mit Nanometer-Dickenkontrolle verwendet. Die Ausrüstung wird hauptsächlich für die Herstellung von magnetischen (Mehrfachschicht-)Dünnschichten und Keilen für die nanomagnetische Forschung verwendet. Das System muss daher einen hohen Grad an Flexibilität, Reproduzierbarkeit, Prozessstabilität und Automatisierung bieten. Für technische Details siehe Abschnitt III Lot 2 Erklärung

Um die explorative Forschung im UGent-Reinraum zu erleichtern, ist ein neues physikalisches Dampfabscheidungssystem (PVD) erforderlich, das Substrate mit einer Größe von mindestens 100 mm verarbeiten kann. Das PVD-System wird zwischen der Photonik-Forschungsgruppe (PRG) und der Flüssigkristall- und Photonik-Forschungsgruppe (LCP) geteilt, um eine breite Palette von (meistens) metallischen oder dielektrischen Dünnschichten abzuscheiden. Zum Auftrag gehört die Inbetriebnahme und Installation des Werkzeugs sowie ein Load-Lock für das schnellere Laden der Proben und eine Schulung durch den Ausrüster. Ein 100 mm PVD-Dünnschichtabscheidungssystem, mit sowohl e-Gun-Verdampfungs- als auch Sputterquellen und einem Load-Lock.

Lot 3 Erklärung

Verbrauchsmaterialien für das erste Jahr von Lot 2. Lot 3 betrifft den einmaligen Kauf der Verbrauchsmaterialien, die speziell für das unter Lot 2 beschriebene PVD-System und zur Verwendung im UGent-Reinraum während des ersten Betriebsjahres erforderlich sind. Der Bestand muss mindestens Gold für Sputtertargets, Titan für Sputtertargets, Gold für e-Gun-Verdampfung und Titan für e-Gun-Verdampfung enthalten. Andere Verbrauchsmaterialien, die in geringeren Mengen verwendet werden, wie Aluminium, Nickel, Platin, Aluminiumoxid, Chrom und ähnliche Materialien, können als optionale Zusatzartikel angeboten werden, sind jedoch nicht verpflichtend.