Spanien – Elektronische integrierte Schaltungen und Mikrobausteine – Suministro de 2 sistemas de micro/nanoposicionamiento y alineamiento óptico para la pilot line de la UPV (UPV39 Y UPV40)

Die Vergabe, die Gegenstand des vorliegenden Verfahrens ist, ist notwendig, um die Forschungs- und Entwicklungsarbeit für die Pilot Line der UPV durchzuführen, mit dem Ziel, die bestehenden fortschrittlichen Pilotlinien zu verbessern und neue in der gesamten Union zu entwickeln, um die Entwicklung und den Einsatz von Spitzen- und nächsten Generation von Halbleitertechnologien zu ermöglichen. Zu diesem Zweck ist es notwendig, unter anderem die folgenden Geräte zu beschaffen:

• UPV39 - Mikro/Nanopositionierungssystem und optische Ausrichtung SINGLE-SIDED für integrierte Photonik für die Pilot Line der UPV

• UPV40 - Mikro/Nanopositionierungssystem und optische Ausrichtung DOUBLE-SIDED für integrierte Photonik für die Pilot Line der UPV

Die hochpräzisen Mikro/Nanopositionierungssysteme und optischen Ausrichtungen ermöglichen die experimentelle Charakterisierung integrierter photonischer Schaltungen durch die kontrollierte Positionierung von optischen Fasern, Faserarrays und Kopplungssonden in Bezug auf Chips, Dies, Wafer, Stäbe oder photonische Prototypen. Diese Art von Ausrüstung ist für Forschungs-, Entwicklungs-, Test- und Messaktivitäten im Bereich der integrierten Photonik unerlässlich, da die optische Kopplung zwischen Faser und Chip eine der kritischen Phasen ist, um zuverlässige, reproduzierbare und messgenaue Messungen zu erhalten. Diese Systeme sind notwendig, um die optische Kopplung in Eingangs-, Ausgangs- und Eingangs-/Ausgangskonfigurationen zu optimieren, sowohl bei Oberflächenkopplung als auch bei Kantenkopplung, wodurch Einfügungsverluste reduziert, die gekoppelte Leistung maximiert und die Stabilität der Messungen verbessert werden kann. Die Verfügbarkeit von single-sided- und double-sided-Konfigurationen ermöglicht es, sowohl Versuche mit einem einzigen ausrichtbaren optischen Anschluss als auch vollständige optische Übertragungsmessungen zwischen zwei Anschlüssen durchzuführen, was für die Untersuchung von Filtern, Resonatoren, Interferometern, Wellenleitern, Kopplern, Multiplexern, Modulatoren und anderen integrierten photonischen Komponenten grundlegend ist. 2 Die hohe Positionsauflösung und -wiederholbarkeit zusammen mit automatischen Routinen zur Suche des ersten Kopplungsvorgangs, Scannen und Optimierung der optischen Leistung ermöglichen es, die experimentelle Einstellzeit erheblich zu verkürzen und die Reproduzierbarkeit der Versuche zu erhöhen. Dies ist besonders relevant in Forschungs- und Entwicklungsumgebungen, in denen mit mehreren Designs, technologischen Plattformen und Prozessvarianten gearbeitet wird und in denen es notwendig ist, Prototypen in verschiedenen Phasen der Herstellung und Validierung zu charakterisieren. Darüber hinaus sind diese Geräte unentbehrlich für die Entwicklung fortschrittlicher elektro-optischer Testmethoden, die Ausrichtung von Faserarrays, die Validierung von Kopplungsprozessen und die Erzeugung zuverlässiger experimenteller Daten über integrierte photonische Schaltungen. Ihre Integration wird es ermöglichen, die Fähigkeit des Labors zur Durchführung präziser optischer Messungen zu verbessern, die Validierung von Prototypen zu beschleunigen, die mit der manuellen Ausrichtung verbundene Variabilität zu reduzieren und die metrologische Qualität der erzielten Ergebnisse zu erhöhen.