Portugal – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – STANDARD AND TECHNICAL SPECIFICATIONS TO GOVERN THE CONTRACT FOR THE SUPPLY AND INSTALLATION OF AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA REACTIVE ION ETCHING (ICP-RIE) SYSTEM

Das Vertragsgegenstand ist die Lieferung und Installation von wissenschaftlichem Gerät und Komponenten an das INL, die unten aufgeführt und im Anhang V (im Folgenden als „Spezifikationen“ bezeichnet) zu diesen Standard-Spezifikationen im Detail beschrieben sind. Die in Anhang V aufgeführten Geräte sind die Lose, aus denen sich das Angebot zusammensetzt. Bietende können für ein oder mehrere Lose bieten. Der Vertragsgegenstand umfasst in keinem Fall so genannte überholte wissenschaftliche Instrumente und Geräte. Das einzelne Los, aus dem sich das Angebot zusammensetzt, lautet wie folgt: Lieferung, Installation, Inbetriebnahme, Abnahmeprüfung und Schulung eines Hochleistungs-Induktivgekoppelten Plasma-Reaktiv-Ionen-Ätzsystems (ICP-RIE) für die Mikro- und Nanofabrikation.