Frankreich – Optische Fachinstrumente – ACQUISITION, INSTALLATION ET MISE EN SERVICE D’UN SYSTEME DE LITHOGRAPHIE LASER UV HAUTE RESOLUTION POUR ECRITURE DIRECTE SUR POLYMERES PHOTOSENSIBLES

Der vorliegende Auftrag hat zum Gegenstand die Lieferung eines hochauflösenden UV-Laserlithographiesystems für die direkte (maskenlose) Strukturierung von lichtempfindlichen Polymeren, das in der Reinraumumgebung des Labors XLIM betrieben wird. Es wird für die Umsetzung der wissenschaftlichen Projekte des Labors XLIM sowie für die Entwicklungen der Plattform PLATINOM der Université de Limoges verwendet, die im Rahmen des Projekts PLAFABAD definiert sind.