Suecia – Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas) – Electron Beam Lithography (EBL) Tool

La Universidad de Lund, Departamento de Física, Lund Nano Lab está adquiriendo un Equipo de Litografía por Haz de Electrones. El instrumento está destinado a la patronización de alta resolución y repetible, equipado con un gran campo de escritura para una alta capacidad de patronización, y rutinas de auto-calibración automáticas para apoyar largas exposiciones con errores mínimos debido a la deriva del haz. Finalmente, su sistema de carga de muestras flexible debe estar configurado para una amplia gama de muestras, desde pequeñas piezas utilizadas para la ciencia básica, o discos de hasta 8" de diámetro para pruebas de producción piloto. Con estas propiedades, el Equipo de Litografía por Haz de Electrones se convertirá en una parte central de la infraestructura de fabricación de Lund Nano Lab y apoyará una gama de aplicaciones como dispositivos cuánticos, electrónica de alta potencia, metasuperficies y más. Además del instrumento, la licitación debe incluir todos los costos asociados, como garantía, embalaje, seguro, instalación en el sitio, puesta en marcha, FAT, SAT, derechos de aduana y transporte, formación, documentación, soporte, desarrollo/actualizaciones de software, cargos bajo la Ordenanza sobre la Responsabilidad del Productor por el Embalaje (2022:1274), etc.