Francia – Maquinaria y aparatos microelectrónicos – Fourniture d’un équipement de 300mm de polissage mécano-chimique

Para sus actividades de investigación orientadas al desarrollo de las tecnologías FD-SOI 10 nm y más allá, el CEA-LETI desea adquirir un equipo de pulido mecanoquímico de 300 mm. El equipo deberá poder pulir películas metálicas como el cobre o el tungsteno, así como materiales barrera como el tantalio o el titanio. El equipo también deberá ser capaz de pulir placas transparentes. Deberá estar equipado con 4 platillos y 2 limpiadores para poder tratar 2 procesos en paralelo. Deberá estar equipado con cabezales de pulido y sistemas de punto final de última generación que permitan el ajuste automático del perfil de pulido. La herramienta deberá integrar posteriormente un módulo de metrología in situ. El presente contrato incluye la siguiente opción obligatoria: - Opción n°1: Prórroga de la garantía por un año adicional. El presente contrato incluye las siguientes opciones facultativas: - Opción n°2: Suministro de un sensor de residuos (artículo 3.1 del pliego de condiciones), - Opción n°3: Suministro de un intercambiador de calor/refrigerador (artículo 3.2.6 del pliego de condiciones), - Opción n°4: Suministro de un transformador eléctrico (artículo 4.1.3 del pliego de condiciones), - Opción n°5: Formación de mantenimiento de 1er nivel (artículo 9 del pliego de condiciones), - Opción n°6: Formación de mantenimiento avanzado (artículo 9 del pliego de condiciones), - Opción n°7: El precio del transporte, incluyendo seguro, según las condiciones DAP CEA Grenoble (Convenio Incoterms ICC 2020).