Alemania – Máquinas diversas para usos generales y especiales – Inline automatic optical inspection (AOI) with high-speed Analysis for QMI systems

Módulo de prueba completamente automatizado para la inspección óptica y el contacto eléctrico de dispositivos electrónicos, fotónicos y micromecánicos, incluyendo enfoques avanzados de fabricación como la integración cuasi-monolítica. El sistema maneja wafers de 200 mm, así como marcos, cintas, bandejas y substratos comparables. Un sistema de manejo de portadores de extremo a extremo carga portadores con substratos montados desde casetes especializados, los posiciona en el chuck de vacío del probador y realiza un alineamiento completamente automatizado. Se proporciona una interfaz de tarjeta de prueba/carta de sonda para la conexión eléctrica. La detección de sondas y el posicionamiento fino se realizan automáticamente para garantizar condiciones de contacto reproducibles. El software de control admite control de secuencia programable y alineación basada en puntos de referencia. Para la inspección óptica, el sistema ofrece una interfaz mecánica móvil para aceptar módulos de inspección óptica modulares, suministrados por el cliente (por ejemplo, microscopio con cámara) con ajuste lateral y vertical. El espacio sobre el