Francia – Maquinaria y aparatos microelectrónicos – Acquisition et mise en service d’un équipement ALD pour les films avancés métalliques et nitrures métalliques pour le CEA de GRENOBLE - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides

En el marco de sus actividades de investigación para desarrollar tecnologías SOI de agotamiento total de 10 nm y más allá, el CEA-LETI desea adquirir un equipo de deposición por capa atómica (ALD) completamente automático. Este equipo deberá tratar principalmente placas de 300 mm (o de 200 mm con el uso de soportes 200-300 mm). Está destinado a la deposición de metales así como de nitruros metálicos para las memorias no volátiles y los contactos avanzados. Este equipo también deberá incluir una solución de limpieza para mejorar la calidad de la superficie antes de la deposición de metales y nitruros metálicos. El mercado también incluye la siguiente opción con cotización obligatoria* : - Opción 1 – Formación de mantenimiento Nivel 1 (Capítulo 9) El mercado también incluye las siguientes opciones con cotización facultativa* : - Opción 2 – Intercambiadores de calor (Heat exchangers) y sistemas de refrigeración (chillers) (Sección 3.2.6) - Opción 3 – Transformador eléctrico (Power supply transformer) (Sección 4.1.4) - Opción 4 – Formación de mantenimiento Avanzado (Capítulo 9) - Opción 5 – Servicios de mantenimiento preventivo, correctivo y piezas de repuesto necesarias (Sección 12.2) - Opción 6 – Extensión de garantía de un año adicional - El precio del transporte, seguro incluido, según las condiciones DAP CEA Grenoble (Convenio Incoterms ICC 2020)