Finlandia – Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas) – Edge-Handling Sputtering Cluster Tool

El objeto del proceso de licitación es un equipo de aglomerado de pulverización de manejo de bordes (también denominado “Equipo”). El Equipo es un equipo de aglomerado de pulverización para obleas de 200 mm con capacidad de manejo de bordes de obleas para el extremo frontal de semiconductores del laboratorio limpio VTT Micronova. La contratación incluye una cámara de deposición con cuatro fuentes de pulverización de magnetrón. Durante el transporte y el procesamiento, las obleas se tocan mecánicamente solo en el borde de la oblea, y se pueden voltear al vacío entre los procesos. El objeto del proceso de licitación y los requisitos técnicos se describen con más detalle en los documentos de invitación a licitar.