Bélgica – Equipo de laboratorio, óptico y de precisión (excepto gafas) – 2 PVD systemen en materiaal

Lote 1 Explicación

La entidad adjudicadora tiene la intención de adquirir un sistema de deposición de películas finas de alta calidad para la investigación de materiales avanzados en el marco del proyecto financiado por el ERC THERMAGINE. El sistema se utilizará para la deposición e ingeniería de películas finas magnéticas metálicas y de óxidos, así como de pilas de multicapas con control de espesor a escala nanométrica. El equipo se utilizará principalmente para la fabricación de películas finas magnéticas (multicapa) y cuñas para la investigación nanomagnética. El sistema debe proporcionar, por lo tanto, un alto grado de flexibilidad, reproducibilidad, estabilidad del proceso y automatización. Para detalles técnicos, consulte la parte III.

Lote 2 Explicación

Para facilitar la investigación exploratoria en la sala limpia de UGent, se requiere un nuevo sistema de deposición física de vapor (PVD) que pueda manejar sustratos de al menos 100 mm de tamaño. El sistema PVD será compartido entre el grupo de investigación de fotónica (PRG) y el grupo de investigación de cristales líquidos y fotónica (LCP) para depositar una amplia gama de películas finas (en su mayoría) metálicas o dieléctricas. Incluido en el encargo está el arranque y la instalación de la herramienta, así como un bloqueo de carga para la carga más rápida de las muestras y la formación por el proveedor del equipo. Un sistema de deposición de películas finas PVD de 100 mm, con fuentes de evaporación e-gun y pulverización y un bloqueo de carga.

Lote 3 Explicación

Consumibles del primer año para el Lote 2. El Lote 3 se refiere a la compra única de los consumibles específicamente requeridos para el sistema PVD descrito en el Lote 2 y para su uso en la sala limpia de UGent durante el primer año de operación. El inventario debe incluir al menos oro para objetivos de pulverización, titanio para objetivos de pulverización, oro para evaporación e-gun y titanio para evaporación e-gun. Otros consumibles utilizados en menores cantidades, como aluminio, níquel, platino, óxido de aluminio, cromo y materiales similares, pueden ofrecerse como elementos adicionales opcionales, pero no son obligatorios.