Francia – Maquinaria y aparatos microelectrónicos – Acquisition d’une paillasse de gravure matériaux III-V pour le CEA de GRENOBLE

Para sus actividades de investigación, el CEA-LETI desea adquirir un equipo, una paillasse de chimie semiautomatique para la gravura y el limpieza de materiales III-V sobre placas de silicio, de fosfuro de indio (InP) o de arseniuro de galio (GaAs) de diámetros 100, 150, 200 y 300 mm para la microelectrónica. Esta paillasse reemplaza una paillasse ya existente en la sala blanca del LETI. Por consiguiente, el equipo propuesto debe respetar las siguientes dimensiones:

o Longitud = 2500 mm

o Profundidad = 1700 mm

o Altura = 2100 mm

El contrato incluye también las siguientes opciones con cotización facultativa:

o Opción 1: Intercambiadores de temperatura y refrigeradores (3.2.6);

o Opción 2: Transformadores de alimentación (4.1.4);

o Opción 3: Formación mantenimiento 1er nivel (9);

o Opción 4: Formación mantenimiento avanzada (9);

o Opción 5: Extensión de garantía de un año adicional (11.1);

o Opción 6: La puesta a disposición de un contacto seco indicando la apertura de la válvula del drenaje de H2SO4 o H2SO5 (4.2.3);

o El precio del transporte, seguro incluido, según las condiciones DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).