Alemania – Máquinas diversas para usos especiales – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Objeto del contrato es la actualización de un sistema existente de deposición química de vapor (CVD) de tungsteno de 200 mm del fabricante Applied Materials Inc. (AMAT) a una configuración WxZ Sprint. Para ello, se requieren, en particular, ajustes en el sistema de distribución de gas para implementar un proceso de deposición de tungsteno pulsado, así como la integración de hardware adicional para permitir presiones de deposición de hasta 300 Torr. Los servicios incluyen la planificación, suministro, integración, puesta en marcha y cualificación de los ajustes de hardware y software necesarios en el sistema de planta existente.