Sisu vaatamiseks vahele jätta
Tagasi otsingule

Saksamaa – Laboriseadmed, optika- ja täppisinstrumendid (v.a klaasid) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität BochumSaksamaaAvaldatud 12. aug 2026
Tähtaja ei antud

Kirjeldus

Ruhr-Universität Bochum plaanib ostaa DRIE ätsejaama, mis peaks kasutama uurimislaboris Mikroelektronikas Bochum vaferite substraatidele kuni 200 mm läbimõõduga. See peaks kasutama silitsiumipõhiste mikroelektromehaaniliste süsteemide (MEMS) valdkonnas sügavat anisotroopset silitsiumi ätlemist tsüklilise ätlemisprotsessi (DRIE, "BOSCH-protsess") alusel ning lisaks teenima uute ätlemisideede uurimiseks, mis kasutavad vähem kliimamõjulisi ätlemisgaase.

CPV koodid

Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

Dokumendid & esitamine

AI kokkuvõte
Logi sisse AI kokkuvõtte jaoks

Contains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.

Seotud hanked