Tagasi otsingule
Saksamaa – Laboriseadmed, optika- ja täppisinstrumendid (v.a klaasid) – Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
Ruhr-Universität BochumSaksamaaAvaldatud 12. aug 2026
Tähtaja ei antud
SaksamaaKirjeldus
Ruhr-Universität Bochum plaanib ostaa DRIE ätsejaama, mis peaks kasutama uurimislaboris Mikroelektronikas Bochum vaferite substraatidele kuni 200 mm läbimõõduga. See peaks kasutama silitsiumipõhiste mikroelektromehaaniliste süsteemide (MEMS) valdkonnas sügavat anisotroopset silitsiumi ätlemist tsüklilise ätlemisprotsessi (DRIE, "BOSCH-protsess") alusel ning lisaks teenima uute ätlemisideede uurimiseks, mis kasutavad vähem kliimamõjulisi ätlemisgaase.
CPV koodid
Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)
Dokumendid & esitamine
AI kokkuvõte
Logi sisse AI kokkuvõtte jaoksContains data from Tenders Electronic Daily (TED), © European Union, ted.europa.eu — CC BY 4.0.
Seotud hanked
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Kauf, Lieferung und Installation eines Femtosekunden-Laser-Systems
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V.SaksamaaLaboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)Tähtajaks on 31 päevaAvaldatud 12. nov 2026
Deutschland – Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) – Targetplattform
Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.SaksamaaLaboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)Tähtajaks on 32 päevaAvaldatud 12. nov 2026
Deutschland – Strömungstechnikgeräte – Modulare 3D PTV Systemerweiterung (MariFSI)
Universität Duisburg-EssenSaksamaaFluid mechanics equipmentMeasuring and control equipmentTähtajaks on 31 päevaAvaldatud 11. nov 2026
Deutschland – Parkuhren – Lieferung von Parkscheinautomaten (Stadt Hildesheim)
Stadt HildesheimSaksamaaParking metersTähtajaks on 32 päevaAvaldatud 11. nov 2026