Allemagne – Machines diverses à usage général et à usage spécial – Inline automatic optical inspection (AOI) with high-speed Analysis for QMI systems

Système de testeur modulaire, entièrement automatisé, pour l'inspection optique et le contact électrique de dispositifs électroniques, photoniques et micro-mécaniques, y compris les approches de fabrication avancées telles que l'intégration quasi-monolithique. Le système gère les galettes de 200 mm ainsi que les cadres, bandes, plateaux et substrats comparables. Un système de manipulation de porteurs de bout en bout charge les porteurs avec des substrats montés à partir de cassettes spécialisées, les positionne sur le mandrin à vide du testeur et effectue un alignement entièrement automatisé. Une interface testcard/probe-card est fournie pour la connexion électrique. La détection de sonde et le positionnement fin sont effectués automatiquement pour garantir des conditions de contact reproductibles. Le logiciel de contrôle prend en charge le contrôle de séquence programmable et l'alignement basé sur des points de référence. Pour l'inspection optique, le système offre une interface mécanique mobile pour accepter des modules d'inspection optique modulaires, fournis par le client (par exemple, microscope avec caméra) avec ajustement latéral et vertical. L'espace au-dessus du