Allemagne – Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes) – EUV-Targets

Avec la source EUV à acquérir, y compris l'instrumentation pour la caractérisation des émissions, des aspects scientifiques doivent être étudiés. Cela inclut principalement des études des dépendances des émissions aux paramètres de la puissance laser injectée. En outre, cette configuration doit être examinée comme alternative aux sources EUV cohérentes déjà développées au HI Jena en ce qui concerne leur application aux procédés d'imagerie.