Allemagne – Machines diverses à usage spécifique – IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

Objet du présent marché est la fourniture d'une installation de revêtement/de développement pour le traitement de plaquettes de 150 mm et 200 mm avec des photorésists alternatifs pour la lithographie iLine et E-Beam. En option, un contrat de maintenance complète avec garantie de disponibilité doit être proposé. Le délai de livraison maximal est de 18 mois à compter de la notification de l'attribution.