Finlande – Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes) – Edge-Handling Sputtering Cluster Tool

L'objet du processus d'appel d'offres est un outil de gravure par pulvérisation cathodique à grappes de traitement des bords (ci-après également « Équipement »). L'Équipement est un outil de gravure par pulvérisation cathodique à grappes pour plaquettes de 200 mm avec capacité de traitement des bords de plaquette pour le front-end de semi-conducteur de la salle blanche VTT Micronova. Le marché comprend une chambre de dépôt avec quatre sources de pulvérisation cathodique à magnétron. Pendant le transport et le traitement, les plaquettes ne sont touchées mécaniquement qu'au niveau du bord de la plaquette, et elles peuvent être retournées sous vide entre les processus. L'objet du processus d'appel d'offres et les exigences techniques sont décrits plus en détail dans les documents d'invitation à soumissionner.