Allemagne – Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes) – Femtosekunden-Lasersystem (6 Lose)

Un système de mesure de l'ellipsométrie résolue en temps fs, de la statistique des photons résolue en temps et de la photoluminescence résolue en temps est nécessaire. Un laser de pompe est disponible, fournissant des impulsions laser d'environ 200 fs de durée avec une énergie par impulsion allant jusqu'à 1 mJ. Les composants suivants sont nécessaires :

1. Génération d'impulsions laser ultra-courtes : En utilisant les impulsions laser fournies par le laser existant (Light Conversion PHAROS 2 SP, voir les spécifications dans le tableau 3.3) (durée d'impulsion d'environ 200 fs, énergie par impulsion jusqu'à 1 mJ), deux types d'impulsions doivent être générés :

1) Impulsions de lumière blanche à large bande (WL) dans la plage spectrale 350 nm – 1250 nm (1 eV – 3,5 eV) avec un chirp maximal sur la plage de longueurs d'onde requise de 2 ps

2) Impulsions (PUMP) à faible largeur de bande dans la plage spectrale 250 nm – 1500 nm, où pour les impulsions d'une largeur de bande maximale de 50 nm, sélectionnées à partir de la plage de longueurs d'onde utilisable, une compressibilité à une durée d'impulsion de 50 fs ou moins est donnée. Cela pourrait être réalisé, par exemple, par compression des impulsions laser fournies par le laser existant d'environ 200 fs (voir tableau 3.3) à une durée d'impulsion de 35 fs ou moins (COMP) suivie de la génération des impulsions WL et PUMP.

2. Ligne à retard : Table motorisée linéaire (DL) avec une course d'au moins 1 m et une répétabilité de 1 μm ou mieux

3. Optiques de polarisation, de focalisation et de réflexion, opto-mécanique (voir figure 3.1) :

1) Optique d'ellipsométrie pompe-sonde (ELLI) : composants optiques et supports optomécaniques pour la réalisation de mesures ellipsométriques automatisées (supports motorisés, composants de polarisation linéaire et de retard), ainsi que la gestion de la conduite des faisceaux pompe-sonde (miroirs de déviation, miroirs paraboliques hors axe, lentilles de collimation, rails de montage) et le montage de l'échantillon.

2) Rétroréflecteur à coin cube (RR) avec une plage de longueurs d'onde utilisable de 250-1500 nm. Détails y compris schémas et tableaux dans la section 3

4. Objectif de microscope (MO) : avec une distance de travail d'au moins 10 mm et une ouverture numérique de 0,4 ou mieux, plage de longueurs d'onde utilisable d'au moins 350-1250 nm

5. Optique de détection : Monochromateur et spectrographe (MC) avec chacun un port pour un détecteur à ligne CCD et une fente de sortie

6. Détecteur à ligne CCD (CCD) avec une fréquence de lecture de 1 kHz ou mieux