Belgique – Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes) – 2 PVD systemen en materiaal
Description
Lot 1 Explication L'autorité contractante a l'intention d'acquérir un système de dépôt de couches minces de haute qualité pour la recherche sur les matériaux avancés dans le cadre du projet financé par l'ERC, THERMAGINE. Le système sera utilisé pour le dépôt et l'ingénierie de couches minces métalliques magnétiques et d'oxydes ainsi que de multicouches avec un contrôle de l'épaisseur à l'échelle nanométrique. L'équipement sera principalement utilisé pour la fabrication de couches minces (multicouches) magnétiques et de coins pour la recherche nanomagnétique. Le système doit donc offrir un haut degré de flexibilité, de reproductibilité, de stabilité du processus et d'automatisation. Pour les détails techniques, voir la partie III
Lot 2 Explication Pour faciliter la recherche exploratoire dans la salle blanche de l'UGent, un nouveau système de dépôt physique en phase vapeur (PVD) est requis, qui peut traiter des substrats d'au moins 100 mm de taille. Le système PVD sera partagé entre le groupe de recherche en photonique (PRG) et le groupe de recherche en cristaux liquides et photonique (LCP) pour déposer une large gamme de couches minces (principalement) métalliques ou diélectriques. L'attribution inclut le démarrage et l'installation de l'outil, ainsi qu'un sas de chargement pour un chargement plus rapide des échantillons et une formation par le fournisseur de l'équipement. Un système de dépôt de couches minces PVD de 100 mm, avec à la fois des sources d'évaporation par canon à électrons et de pulvérisation et un sas de chargement.
Lot 3 Explication Consommables de première année pour le lot 2. Le lot 3 concerne l'achat unique des consommables spécifiquement requis pour le système PVD décrit sous le lot 2 et pour une utilisation dans la salle blanche de l'UGent pendant la première année d'exploitation. L'inventaire doit inclure au moins de l'or pour les cibles de pulvérisation, du titane pour les cibles de pulvérisation, de l'or pour l'évaporation par canon à électrons et du titane pour l'évaporation par canon à électrons. D'autres consommables utilisés en quantités moindres, tels que l'aluminium, le nickel, le platine, l'oxyde d'aluminium, le chrome et des matériaux similaires, peuvent être proposés comme articles supplémentaires optionnels, mais ne sont pas obligatoires.
Codes CPV
Documents et soumission
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