Belgique – Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes) – ID 24_77 PECVD PEALD BEOL RDL TOOL

ID 24_77 PECVD PEALD BEOL RDL

**Appel d'offres ouvert**

**Section I : Pouvoir adjudicateur**

**Nom officiel :**

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives

**Adresse postale :**

25, rue Leblanc

**Code postal :**

75015

**Ville :**

Paris

**Pays :**

France

**Point(s) de contact :**

Service des marchés publics

**Téléphone :**

+33 1 40 56 60 00

**Télécopieur :**

+33 1 40 56 60 01

**Courriel :**

[email protected]

**Adresse(s) internet :**

http://www.cea.fr

**Section II : Objet**

**Objet principal :**

Fourniture de systèmes de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) et de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma par couches atomiques (PEALD) pour la fabrication de circuits intégrés, de dispositifs microélectroniques et de circuits microélectromécaniques (MEMS) pour les applications de l'électronique de puissance.

**Code CPV principal :**

38511000

**Section IV : Procédure**

**Type de procédure :**

Appel d'offres ouvert

**Critères d'attribution :**

Offre économiquement la plus avantageuse

**Section VI : Renseignements complémentaires**

**Date limite de réception des offres :**

10/03/2024

**Numéro de référence :**

24_77 PECVD PEALD BEOL RDL