Portugal – Équipements de laboratoire, d'optique et de précision (excepté les lunettes) – STANDARD AND TECHNICAL SPECIFICATIONS TO GOVERN THE CONTRACT FOR THE SUPPLY AND INSTALLATION OF AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA REACTIVE ION ETCHING (ICP-RIE) SYSTEM

L'objet du présent contrat est la fourniture et l'installation d'équipements scientifiques et de composants à l'INL, énumérés ci-dessous et détaillés dans l'Annexe V jointe aux présentes Spécifications Types (ci-après dénommées ‘Spécifications’). Les équipements énumérés dans l'Annexe V constituent les lots que comprend le marché. Les soumissionnaires peuvent présenter des offres pour un ou plusieurs lots. L'objet du contrat, dans tous les cas, ne comprend pas les instruments et équipements scientifiques dits reconditionnés. Le lot unique constituant le marché est le suivant : Fourniture, installation, mise en service, essais de réception et formation d'un système de gravure ionique réactive à plasma couplé par induction (ICP-RIE) à haute performance destiné à la micro- et nanofabrication.