Allemagne – Machines diverses à usage spécifique – Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

L'objet de l'acquisition est la mise à niveau d'un système existant de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) au tungstène de 200 mm du fabricant Applied Materials Inc. (AMAT) à une configuration WxZ Sprint. Cela inclut notamment des adaptations au système de distribution de gaz pour la réalisation d'un processus de dépôt de tungstène pulsé, ainsi que l'intégration de matériel supplémentaire pour permettre des pressions de dépôt jusqu'à 300 Torr. Les prestations comprennent la planification, la livraison, l'intégration, la mise en service et la qualification des adaptations matérielles et logicielles nécessaires sur le système d'installation existant.